Aktywna wibroizolacja AIS i eStable - aktywne tłumienie drgań niskoczęstotliwościowych

Aktywne systemy izolacji drgań AIS

Aktywna wibroizolacja Bilz AIS to elektronicznie sterowane systemy tłumienia drgań, które aktywnie regulują drgania w zakresie 0–15 Hz (częstotliwości własne ok. 1,2–2,5 Hz). W odróżnieniu od pasywnych wibroizolatorów, system AIS aktywnie przeciwdziała drganiom za pomocą czujników i siłowników sterowanych w pętli zamkniętej.

Systemy AIS są przeznaczone do najbardziej wymagających, wrażliwych na drgania zastosowań: maszyn do produkcji półprzewodników, mikroskopów elektronowych i tunelowych, metrologii precyzyjnej oraz laboratoriów badawczych wymagających ekstremalnej stabilności.

Aktywny system wibroizolacji Bilz AIS - elektronicznie sterowane tłumienie drgań

Serie produktów

Systemy aktywnej wibroizolacji

Dwa rozwiązania — od kompaktowej izolacji laboratoryjnej po zaawansowane systemy do maszyn półprzewodnikowych i metrologii.

System aktywnej wibroizolacji Bilz AIS - do maszyn półprzewodnikowych i metrologii precyzyjnej

AIS — Active Isolation System

Zaawansowany system aktywnej izolacji drgań do najbardziej wrażliwych urządzeń: maszyn półprzewodnikowych, mikroskopii elektronowej i tunelowej oraz metrologii precyzyjnej. Elektroniczne sterowanie w pętli zamkniętej z czujnikami przyspieszenia. Aktywna regulacja w 3 lub 6 stopniach swobody.

Zobacz szczegóły →

eStable Mini

Kompaktowy system aktywnej wibroizolacji do zastosowań laboratoryjnych. Idealny do mikroskopów, wag analitycznych, interferometrów i innych czułych przyrządów pomiarowych. Gotowy do pracy — wystarczy podłączyć zasilanie.

Zobacz szczegóły →

Kluczowe cechy

Dlaczego aktywna wibroizolacja?

Aktywna regulacja 0–15 Hz

Aktywne systemy regulują drgania w zakresie 0–15 Hz, skutecznie tłumiąc także drgania niskoczęstotliwościowe — poniżej możliwości pasywnych wibroizolatorów pneumatycznych. Eliminacja drgań niskoczęstotliwościowych z otoczenia.

Sterowanie w pętli zamkniętej

Czujniki przyspieszenia wykrywają drgania w czasie rzeczywistym, a siłowniki generują siłę przeciwdziałającą. System ciągle adaptuje się do zmieniających się warunków.

Tryb skanowania i obciążania

Cyfrowe przełączanie między trybem skanowania (podczas czułych operacji maszyny) a trybem obciążania (przy zmianach obciążenia) — krótkie czasy ustalania i wysoka dokładność pozycji.

Szybki czas osiadania

Aktywne tłumienie drastycznie skraca czas osiadania po zaburzeniu impulsowym. Maszyna wraca do stanu stabilnego w ułamku sekundy.

Wieloosiowa izolacja

Aktywna izolacja drgań we wszystkich sześciu stopniach swobody: trzy osie translacji i trzy osie rotacji. Pełna ochrona przed drganiami z każdego kierunku.

Plug & Play

System eStable Mini gotowy do pracy natychmiast po podłączeniu zasilania. Bez konieczności konfiguracji sprężonego powietrza czy skomplikowanego montażu.

Zastosowania

Gdzie stosować aktywną wibroizolację?

Półprzewodniki

Maszyny inspekcyjne i produkcyjne w przemyśle półprzewodnikowym: litografia (naświetlanie struktur), pomiar luster, zastosowania wiązki elektronowej.

Mikroskopia

Laboratoria i mikroskopia wymagające ekstremalnej stabilności: mikroskopy elektronowe (TEM, SEM), skaningowe mikroskopy tunelowe (STM) i sił atomowych (AFM), zogniskowana wiązka jonów (FIB), litografia elektronowa oraz nanomanipulatory.

Metrologia i analityka

Współrzędnościowe maszyny pomiarowe, optyczna metrologia 3D, profilometry, spektrometry masowe oraz systemy wysokiej próżni — wszędzie tam, gdzie drgania otoczenia zaburzają pomiar.

Nanotechnologia i laboratoria

Naświetlanie w skali nano oraz fundamenty drgające dla laboratoriów badawczych — m.in. Centrum Nanotechnologii Binniga i Rohrera (IBM).

Informacje techniczne

Informacje ogólne i wskazówki

Zasada działania

Aktywne izolatory drgań dzięki odpowiedniej regulacji wytwarzają siłę przeciwną przesuniętą w fazie o 180°, działając jednocześnie jako aktuatory. Minimalizuje to wzmocnienie rezonansowe w okolicy częstotliwości własnej izolatorów.

Informacje ogólne

W aktywnej izolacji drgań zachowanie układu jest poprawiane dzięki aktywnie sterowanym elementom (aktuatorom). Pozwala to uzyskać lepsze właściwości niż przy izolatorach czysto pasywnych. Dotyczy to dwóch cech: samej izolacji drgań oraz zachowania dynamicznego po wzbudzeniu siłami i zakłóceniami.

Aktywna wibroizolacja Bilz AIS i eStable — elektroniczne tłumienie drgań

Aktywne systemy wibroizolacji Bilz zapewniają elektronicznie sterowane tłumienie drgań. System AIS do maszyn półprzewodnikowych, mikroskopii i metrologii precyzyjnej, eStable Mini do laboratoriów i aparatury pomiarowej. Sterowanie w pętli zamkniętej, wieloosiowa izolacja (do 6 stopni swobody), krótkie czasy ustalania. Zastosowania: produkcja półprzewodników, mikroskopia elektronowa i tunelowa, metrologia, spektrometry masowe, systemy wysokiej próżni, naświetlanie w skali nano, laboratoria badawcze. Made in Germany.

Aktywna wibroizolacja