Aktywna wibroizolacja

System aktywnej wibroizolacji AIS

Elektroniczno-pneumatyczna izolacja drgań w 3 lub 6 stopniach swobody — aktywna regulacja w zakresie 0–15 Hz.

Opis

Charakterystyka

AIS (Active Isolation System) to aktywny, elektroniczno-pneumatyczny system wibroizolacji z 3 lub 6 aktywnie sterowanymi stopniami swobody. Działa w oparciu o zasadę aktuatora pneumatycznego i obejmuje szeroki zakres dynamiczny — dla maszyn o masie od 800 do 120 000 kg.

System wykorzystuje wydajne sterowanie w czasie rzeczywistym, z proporcjonalnymi zaworami pozycji i mikroprocesorem dla każdej osi regulacji. Działa bez zakłócającego ciepła, wahań pola magnetycznego i przy niskim poborze mocy — inaczej niż rozwiązania elektromagnetyczne. Cyfrowo przełącza się między trybem skanowania (podczas czułych operacji maszyny) a trybem obciążania (przy zmianach obciążenia), bez konieczności sygnału feed-forward.

System aktywnej wibroizolacji antywibracyjnej Bilz AIS - elektroniczno-pneumatyczne tłumienie drgań

Dane techniczne

Parametry systemu AIS

Rodzaj	aktywna izolacja elektroniczno-pneumatyczna
Stopnie swobody	3 lub 6 (aktywnie sterowane)
Zakres regulacji aktywnej	0–15 Hz
Częstotliwość własna (pionowo)	1,2–2,5 Hz
Częstotliwość własna (poziomo)	1,1–1,9 Hz (6 stopni swobody); 0,8–1,9 Hz (High Performance)
Zakres mas maszyn	800–120 000 kg
Tryby pracy	skanowania / obciążania (przełączanie cyfrowe)
Rozdzielczość czujników	przemieszczenie 0,2 µm; przyspieszenie 8 µg; ciśnienie 0,2 mbar
Częstotliwość próbkowania	4 kHz

W wersji 3-stopniowej trzy pionowe regulatory sterują pozycją pionową i obrotami wokół obu osi poziomych; pozostałe ruchy są resetowane pasywnie membranami. Wersja 6-stopniowa dodaje poziome poduszki powietrzne HAB, a wariant High Performance wykorzystuje poziomo obrócone poduszki BiAir działające jak łożyska powietrzne (eliminacja tarcia).

Zastosowania

Gdzie stosować system AIS?

Półprzewodniki

Maszyny inspekcyjne i produkcyjne w przemyśle półprzewodnikowym, w tym litografia (naświetlanie struktur).

Mikroskopia

Mikroskopy elektronowe i skaningowe: TEM, SEM, skaningowy mikroskop tunelowy (STM) oraz zogniskowana wiązka jonów (FIB).

Metrologia

Współrzędnościowe maszyny pomiarowe oraz optyczna metrologia 3D, gdzie drgania otoczenia zaburzają pomiar.

Laboratoria

Fundamenty drgające dla laboratoriów badawczych wymagających ekstremalnej stabilności.

Potrzebujesz doboru systemu aktywnej wibroizolacji?

Pomożemy dobrać konfigurację AIS (3 lub 6 stopni swobody) do Twojej maszyny i wymagań izolacji.

→ Skontaktuj się ← Aktywna wibroizolacja

System aktywnej wibroizolacji AIS — aktywne tłumienie drgań niskoczęstotliwościowych

AIS to aktywny, antywibracyjny system izolacji drgań ze sterowaniem elektroniczno-pneumatycznym w 3 lub 6 stopniach swobody, aktywnie regulujący drgania w zakresie 0–15 Hz przy częstotliwościach własnych 1,2–2,5 Hz w pionie. Obejmuje maszyny od 800 do 120 000 kg i znajduje zastosowanie w produkcji półprzewodników, mikroskopii elektronowej i tunelowej oraz metrologii precyzyjnej. Oficjalnym przedstawicielem Bilz w Polsce jest firma EKKON z Olsztyna.